拋光機(jī)是一種精密研磨設(shè)備，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動，達(dá)到很好的拋光效果。由底座、拋盤、拋光織物、拋光罩及蓋等基本元件組成。電動機(jī)固定在底座上。電動機(jī)通過底座上的開關(guān)接通電源起動后，固定拋光盤用的錐套通過螺釘與電動機(jī)軸相連。拋光織物通過套圈緊固在拋光盤上。便可用手對試樣施加壓力在轉(zhuǎn)動的拋光盤上進(jìn)行拋光。拋光過程中加入的拋光液可通過固定在底座上的塑料盤中的排水管流入置于拋光機(jī)旁的方盤內(nèi)。拋光罩及蓋可防止灰土及其他雜物在機(jī)器不使用時落在拋光織物上而影響使用效果。外圓拋光機(jī)操作的關(guān)鍵是要設(shè)法得到大的拋光速率，以便盡快除去磨光時產(chǎn)生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響終觀察到組織，即不會造成假組織。前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用細(xì)的資料，使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。解決這個矛盾的好的方法就是把拋光分為兩個階段進(jìn)行。粗拋目的去除磨光損傷層，這一階段應(yīng)具有大的拋光速率，粗拋形成的表層損傷是主要的考慮，不過也應(yīng)當(dāng)盡可能小；其次是精拋，其目的去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷，使拋光損傷減到小。

操作圓管拋光機(jī)要以為重點(diǎn)，首先要查看電源情況保持好開關(guān)完整無損，開關(guān)電源要上墻,嚴(yán)禁亂接亂拉電線。在進(jìn)行清洗打掃設(shè)備時候，防止水濺到電源上，非操作人員嚴(yán)禁進(jìn)入工作區(qū)域；出現(xiàn)緊系情況的時候，防止在拋光機(jī)使用過程中出現(xiàn)事故，應(yīng)該立即關(guān)閉總電源開關(guān)。如需拿下拋光砣觀察晶片時，要停止拋光盤的轉(zhuǎn)動，然后抬起壓力控制臂，等壓力控制臂抬起時，才能取出拋光砣；拋光機(jī)作業(yè)時禁示將身體任何部位伸入拋光區(qū)內(nèi)，以免出現(xiàn)事故；更換拋光液要關(guān)掉自動攪拌機(jī)，以免發(fā)生危險；作業(yè)完成后要關(guān)掉，水，電，氣等總開關(guān)，現(xiàn)場地面還要適當(dāng)清掃一下，不得亂放物品；消防器材的擺放位置要明確，還要定期檢查是否過期，完好等情況。