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程控擴散爐-閉關軟著路擴散爐 青島晨立

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詳細信息
品牌：CL-晨立 規格：CL4514-3
程控高低溫擴散爐

  外型形式：臥式1—4管結構 程控高低溫 擴散爐主要滿足半導體電力電子器件行業、大功率集成電路等行業，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。


 技術指標：
       可處理硅片尺寸：2—8英寸
       工作溫度：200℃—1300℃
       恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
       單點溫度穩定性、重復性：≤±1.5℃／24h
       溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
       可控降溫速率：5℃／min
       送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動推拉
       氣路系統：1—5路工藝氣體／管
       氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計
       控制方式：工控機、觸摸屏



聯系方式
  • 聯系人： 姜經理 先生
  • 職位： 銷售經理
  • 傳 真： 0532-88533525
  • 電話： 0532-88533525
  • 手機： 13954285618
  • 地 址： 山東省 青島市 山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓
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