用途：

  主要用于各大高校、硅材料實(shí)驗(yàn)室、及微電子專業(yè)對(duì)半導(dǎo)體6寸及以下硅片的高溫?cái)U(kuò)散、氧化（濕氧）、退火、燒結(jié)合金工藝的教學(xué)和實(shí)驗(yàn)工作。

1.1、工作溫度：400-1300℃

1.2、恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度： 300mm  /±0.5℃（可選）

1.3、爐管數(shù)：一、二、三、四管（可選）

1.4、適應(yīng)硅片尺寸： 6寸及向下兼容

1.5、送取片方式：自動(dòng)或手動(dòng)（可選）