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晶圓真空退火爐低溫退火設(shè)備青島晨立

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詳細(xì)信息

晶圓真空退火爐主要用于半導(dǎo)體晶圓在高真空環(huán)境下的低溫退火。

尺寸：4-8英寸晶圓

晶圓舟：標(biāo)準(zhǔn)25片

控溫精度：±3℃

升溫速率：10℃/min

潔凈等級(jí)：百級(jí)潔凈

真空度：5*10-4 Pa

使用溫度：200-550度

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