主要技術(shù)參數(shù)
◆結(jié)構(gòu)型式:臥式熱壁型
◆工作溫度范圍:300~1280℃
◆恒溫區(qū)長度及精度:±0.5℃/1080mm
◆氣體流量設(shè)定精度:±1%F.S
◆氣路系統(tǒng)氣密性: 1×10-7pa.m3/s
◆工藝均勻性:≤±5%(30~60歐姆)
◆控制方式: 工業(yè)微機(jī)控制
◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制