一.主要技術性能指標

1．設計高溫度2300℃

額定工作溫度2000℃

2．控溫精度±1℃

3．均溫區溫度精度±10℃ （均溫、保溫階段）（真空環境）

4．有效均溫區尺寸φ500mm×高500mm

5．加熱器尺寸 φ700mm×700mm

6．加熱器形式 石墨棒

7．加熱功率350kW

8. 供電方式輸入端 380V（±10％）三相 50HZ

9. 升溫速率5～8℃/min

10．隔熱屏石墨碳氈 厚度200mm

11．極限真空度6.67X10^-3Pa （空爐）

工作真空度6.67X10^-2Pa

12．升壓率≤2 Pa/h

13．裝料方式：側面料方式，爐蓋旋轉

14．工作環境 真空（或惰性氣氛）

15．測溫方式：鎢錸WRe5/26 +紅外線測溫儀（測溫范圍2000℃）

16．控溫方式 島電 FP-23  PID溫控表

17.真空系統配置：KT-600油擴散泵+ZJP-600羅茨泵+H-150機械泵，真空管道，真空閥門。

18.真空測量：DF-III-LED復合真空計，金屬真空電阻規管ZJ-52T和ZJ-27電離規管

19.保護氣體：氬氣 氮氣

21、冷卻方式：FB-350 閉式冷卻塔，

22.冷卻水進水溫度：5-35℃

23.循環水壓力：0.25-0.4MPa

24、冷卻水流量： 20m3/h

25.爐體用應急冷卻水壓力：0.2-0.35Pa

26．占地面積 4500mm×3500mm×高2300mm

二. 設備結構：

本燒結爐為臥式單室結構，其主要組成為：爐殼、爐蓋、石墨發熱體、碳氈保溫材料隔熱屏、真空系統、調壓電源、電氣控制系統、水冷系統、工作平臺等組成。

本真空燒結爐采用臥式水冷套結構，采用側出料方式，根據爐溫和客戶的工藝要求，采用石墨作發熱體，硬質固化碳氈和其他保溫作為保溫材料，整個燒結工藝過程編程控制，溫度使用PID表調節控制，外循環冷卻，配置充放氣裝置、可向爐內充入保護性氣體或工作氣體，充氣流量可調。配備爐內或爐外循環冷卻裝置，可加速爐內物料冷卻，縮短工作周期，提高工作效率。

本爐殼為圓形筒體，有爐體上不銹鋼法蘭，主爐殼體(中段圓柱形殼體),采用雙層水冷結構、內壁采用厚度為12mm的304不銹鋼，外壁是厚度為8mm的Q235碳鋼，內外壁之間有加強筋，夾層通入冷卻水。爐體上口焊接不銹鋼法蘭，爐體左側開有真空泵口，對稱的右面開有安裝引電極發蘭口。另外爐體上還開有熱電偶測溫口、進水口，出水口、出氣口等。爐體內部經過打磨，光滑平整，有利于真空的形成。

爐蓋采內壁及法蘭材質為304不銹鋼，外壁為碳鋼中間通冷卻水的雙層水冷蝶形封頭結構形式；，爐蓋上有觀察視窗，進出水口、鎖緊裝置等。 爐蓋頂部分別有測溫法蘭和石英透鏡，安裝瞄準支架，將紅外儀裝于該支架上,通過石英透鏡和爐頂預留測溫孔對爐體內部進行測溫。

爐蓋開啟設計為采用手動開啟：爐蓋和爐體之間的連接軸承底部安裝有一小型的手動千斤頂，將連接軸承頂起開啟爐蓋，爐蓋可以水平移動，方便操作，

3.加熱器：

加熱器采用石墨棒制作而成，整體為鼠籠狀。

本套爐子工作溫度要求2000℃，隔熱材料采用石墨氈，石墨氈隔熱屏吸水性小，易于抽真空，高溫強度好，適于高溫燒結爐使用。

在石墨發熱體的外圍安裝一個石墨隔熱屏作為一次隔熱。在石墨隔熱屏的外圍用厚度為60mm的碳氈作為二次隔熱屏，石墨碳氈的外圍用不銹鋼做三次隔熱。石墨碳氈和不銹鋼安裝在一起，拆卸，安裝都很方便。石墨電極，石墨發熱體，石墨碳氈均采用高純石墨。

發熱石墨管制作加工成三相發熱體與電極聯結，并有電爐控制系統，三相供電經過變壓器降壓有聯結到三根引出電極，形成一個回路。

爐蓋和爐底：爐蓋和爐底都采用，石墨-碳氈-不銹鋼的三層結構隔熱屏.，做到隔熱、保溫盒減少熱量損失。

爐蓋的隔熱屏和爐蓋為一體，安裝在爐蓋下方隔熱屏的厚度要超出爐蓋法蘭，爐蓋蓋上，隔熱屏能和石墨發熱體的上沿密閉，保證熱量不會散發出去。

加熱工件的時候，工件放置于石墨材質的料舟內，料舟放置于底部隔熱屏的石墨上?；蛘咧苯訉⒁訜岬墓ぜ胖糜诘撞扛魺崞恋氖霞訜釤Y。

觀察窗：爐門上觀察窗是真空燒結爐工作時用于觀察工件受熱情況，發現加熱爐室中問題的觀察裝置。也可以用來作為光學高溫計從窗口進行溫度測量。

4．測溫裝置：熱電偶作為測溫和控溫裝置的感溫元件，是真空電阻燒結爐加熱室重要的測量裝置。一般安裝在真空熱處理爐的爐體側面，將鎧裝熱電偶通過密封座引入加熱室內即時測量爐內溫度以確保爐溫均勻性和控溫精度。

本套采用鎢錸熱電偶外套采用金屬保護管進行控溫測溫，工作可靠、性能穩定，壽命長。

5．真空系統： 為了達到工藝要求的真空度，真空系統配置H-150滑閥泵泵和ZJP-600羅茨泵，KT-600T油擴散泵組合對爐子進行抽空。真空閥門為氣動擋板閥，真空管道采用不銹鋼真空管道。真空測量配置真空表和復合式真空計。

真空管道上設置有充、放氣閥。充氣閥充入保護氣體可以對工件進行氣氛保護，另外充氣加熱對流循環。工件加熱速度快，溫度均勻。產品質量好，并且節能。

6.水冷系統： 爐蓋、爐體、爐底、真空泵都需要進行冷卻，冷卻水有總管道進入分水器，再經過各支管到達爐蓋、爐體、爐底、真空泵，回水再經過集水器匯總排除，每路水都有手動閥門，可以獨立控制水流量，調節水壓， 總進水管道上設有接點壓力表，當水壓低于設定值時，控制系統會聲光報警。并切斷加熱電源。

全套設備冷卻水循環量：20m³/h

總硬度不大于10度（CaO容量〈10mg當量〉；

溶解性固體  <300mg/L；

PH值   7—8.5；

懸浮性固體  <10mg/L；

堿度<60mg/L；

可溶性Si02  <6mg/L；

電導率  <500us/cm；

供水系統：

高進水溫度<35℃；

低進水溫度>5℃；

進水壓力0.2—0.4MPa;

出水溫度<55℃.

7．爐體支架平臺： 平臺由標準型鋼組成框架和支腿，爐體安裝在平臺上，高度適合，平穩，并有爐前工作平臺，方便操作。

8電源：

真空電阻爐電源采用晶閘管電源調功器和低壓變壓器。380V電壓經過降壓變壓器降到60V,再經過電纜線傳輸到石墨電極上。三相恒壓|恒流|恒功率晶閘管功率控制器是移相觸發型的晶閘管電力控制器。觸發板具有過流、缺相、相序、晶閘管過熱等多種保護功能

9. 溫度控制系統

采用控溫精度為0.1%的智能化溫度控制儀表，按產品工藝曲線編制程序控制真空熱處理爐的升溫、保溫、降溫過程、溫度控制儀表的運行，停止由人為手動控制，實現對工藝曲線溫度的控制。溫度控制系統可以設定PID參數，自調諧功能，以保障升溫無超調，系統可適合多種分度號熱電偶和預先設定升溫保溫曲線。溫控儀輸出電流信號給觸發單元，觸發單元把電流信號變為電壓信號，其輸出控制勵磁賄賂的直流電壓電流，從而控制了磁調的電壓電流，保證爐子按照設定的曲線加熱和保溫。